光刻机振动检测CMA

南京宁韵环境检测有限公司是一家开展各类振动噪声第三方检测机构。公司组成了一支由声学博士为核心的技术队伍，已建成LMS 12+ 振动噪声分析系统、B&K PULSE分析系统、B&K 声强、B&K 2250声级计、B&K 声校准和BSWA 1级精度声级计。 公司具备各类酒店、商务场所、住宅以及乘用车、船舶、高速列车、机械设备等多个领域的振动噪声测试经验。已取得检验检测机构资质证书(CMA)。
振动数据分析
振动数据的预处理应符合下列要求
1微振动测试所采集的样本应与测试原始记录核对,应选择有效样本进行排序整理;
2应对每一样本进行检查,并应除去零点漂移及干扰。
振动数据的时域分析应符合下列要求:
1对于时域振动位移、速度及加速度均方根值,采用平均方法求得,平均次数根据数据采样长度决定;
2对于时域振动位移、速度及加速度峰值，显示时域曲线可直接判读。
振动数据的频域分析应符合下列要求:
1应做频域1/3倍频程谱,线性谱或功率谱分析;
2窗函数宜采用汉宁(Hanning)窗;
3应根据需要设定截止分析频率;
4频域分析对样本信号的平均次数应根据数据采样长度决定;
5稳态或随机振动信号应采用线性平均或峰值保持平均进行频域分析;
6对于移动振源或冲击振动信号,宜采用峰值保持平均进行频域分析。

防微振基台振动测试
动力特性测试应符合下列要求:
1测试前,隔振系统应经过调试,确认正常工作状态;
2动力特性测试应符合本附录A.6.1*1款的规定;
3对于**宽、**长台座,宜进行基台结构模态测试。
微振动测试应符合下列要求:
1环境微振动工况分类及组合应符合本附录A.6.3*1款的规定;
2传感器布置应符合下列要求:
1)应位于台板**面隔振系统的质心处及长边、短边方面两端;
2)应位于台板**面隔振系统的质心处及支承结构对应位置处。

建筑物振动测试
精密设备及仪器的立基础动力特性测试应符合下列要求:
1. 可采用冲击法或共振法测试基础固有振动频率及阻尼比，传感器应布置于基础**面的质心投影点位置;
2. 动力特性测试的重复测试次数不应少于3次。

精密仪器与设备本身是一个多自由度的复杂弹性系统，自身具有多个固有振动频率及阻尼比，当外界振动频率与某个固有振动频率一致时，系统产生共振，会影响其正常工作。而对于外界环境振动，经大量实例及研究结果，是一种平稳随机振动过程，本身含有丰富的简谐振动频率，为了确保仪器及设备的正常工作，对外界环境中存在各种不同频率的振动幅值进行限制，以减弱因共振等产生振动影响的做法是较为科学的。
国标GB 50868-2013 《建筑工程容许振动标准》给出了各类精密设备振动容许的限值。该限值包括以1/3倍频程计算的等效值和各个频带的峰值。同时，在电子工业行业，很多时候采用美国通用标准VC曲线来评价，它是评价4-100Hz的1/3倍频程振动速度均方根值.
检测领域：各类环境噪声、室内低频噪声、电梯噪音； 空气声和撞击声隔声、混响时间、语音清晰度、开放办公声学特性、厅堂扩声；声屏障、隔声间、隔声罩和；各类振动测试评价、建筑结构振动、精密设备振动、机械振动测试；声功率和发射声压级测试；声强测试分析；轨道交通、汽车、船舶噪声检测。
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