郑州光刻机微震测试

南京宁韵环境检测有限公司是一家开展各类振动噪声第三方检测机构。公司组成了一支由声学博士为核心的技术队伍，已建成LMS 12+ 振动噪声分析系统、B&K PULSE分析系统、B&K 声强、B&K 2250声级计、B&K 声校准和BSWA 1级精度声级计。 公司具备各类酒店、商务场所、住宅以及乘用车、船舶、高速列车、机械设备等多个领域的振动噪声测试经验。已取得检验检测机构资质证书(CMA)。
建筑物内设备布置应符合下列规定:
1精密设备及仪器与动力设备的布置较靠近时,宜采用隔振缝隔开;
2当楼层布置精密设备或仪器时,动力设备应布置于底层或楼层边跨,并应在楼层设隔振缝与精密设备或仪器所在区域隔离;
3精密设备及仪器不宜布置于受电梯振动影响的范围内;
4当楼层布置精密设备及仪器时,其位置宜位于梁、墙、柱等结构刚度较大的部位或附近。
多层厂房内不宜设置起重设备。设置起重设备时,宜采用悬臂式起重设备或其他振动影响较小的运输工具。
建筑物内的动力设备及产生振动的管道进人防微振区域时,应采取隔振措施。
建筑物内应采用低速送风,空气密度变化率宜控制在10%以内。当布置有自循环过滤器(FFU)装置时,应采取隔
振措施。
防微振区域内的门应采用柔性缓冲装置。

防微振基台振动测试
动力特性测试应符合下列要求:
1测试前,隔振系统应经过调试,确认正常工作状态;
2动力特性测试应符合本附录A.6.1*1款的规定;
3对于**宽、**长台座,宜进行基台结构模态测试。
微振动测试应符合下列要求:
1环境微振动工况分类及组合应符合本附录A.6.3*1款的规定;
2传感器布置应符合下列要求:
1)应位于台板**面隔振系统的质心处及长边、短边方面两端;
2)应位于台板**面隔振系统的质心处及支承结构对应位置处。

环境微振动测试应符合下列要求:
1环境微振动工况分类及组合应包括常时微振动、本建筑以外的固定干扰振源、移动干扰振源,本建筑内的固定千扰振源、移动干扰振源的分别作用及组合;
2传感器布置应符合下列要求:
1)对于精密设备或仪器的立基础,传感器应布置于基础**面质心处及基础长边及短边方面两端;
2)对于楼层结构,传感器应布置于精密设备或仪器的安装位置处,或布置于结构主梁、次梁及跨板中。

防微振措施
建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求:
1抗震设防烈度为7度、8度的地区,建筑物基础持力层范围内存在承载力特征值分别小于80kPa、100kPa的软弱黏土层时,应采用桩基或人工处理复合地基。采用复合地基时,应按现行标准《建筑地基基础设计规范》G007和《建筑地基处理技术规范》JGJ79的有关规定进行载荷试验和地基变形验算;
2防微振厂房同一结构单元的基础不宜埋置在不同类别的地基土上。
地面结构或底板结构的防微振设计应符合下列要求:
1集成电路制造厂房前工序、液晶显示器制造厂房、纳米科技建筑及实验室应按防微振要求设置厚板式钢筋混凝土地面。当采用**地基时,地面结构厚度不宜小于500mm,地基土应夯压密实,压实系数不得小于0.95。当采用桩基支承的结构地面时,地面结构厚度不宜小于400mm,对于软弱土地区,不宜小于500mm;对于欠固结土,宜采取防止桩间土与地面结构底部脱开的措施;
2当地面为**长混凝土结构时,不宜设置伸缩缝,可采用**长混凝土结构无缝设计措施。
检测领域：各类环境噪声、室内低频噪声、电梯噪音； 空气声和撞击声隔声、混响时间、语音清晰度、开放办公声学特性、厅堂扩声；声屏障、隔声间、隔声罩和；各类振动测试评价、建筑结构振动、精密设备振动、机械振动测试；声功率和发射声压级测试；声强测试分析；轨道交通、汽车、船舶噪声检测。
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